美国Teledyne API高浓度高纯度臭氧输送系统ODS系列

产品介绍

产品名称: Teledyne API高浓度高纯度臭氧输送系统ODS系列

型号系列:ODS

品牌:Teledyne API

产地:美国

价格:成交价格需联系客服

订货号:ODS

Teledyne API高浓度高纯度臭氧输送系统ODS系列概述:

 ODS系列高浓度高纯度臭氧输送系统为要求的半导体应用而设计。这个高度可靠的臭氧输送系统适合需求不同流量的高浓度臭氧的应用中。该臭氧输送系统整合完全，操作简单，能够方便的与绝大多数半导体机台联动，插入即可使用。

该系统基于微处理器的控制器能够根据用户提供的设定值伺服控制臭氧输送。

该臭氧输送系统包括多通道臭氧泄露探测器和带排气系统的外壳。全部的气体管线都有双重保险​。

Teledyne API高浓度高纯度臭氧输送系统ODS系列特征:

高纯度臭氧

高臭氧浓度

价格低

无消耗品

设计紧凑，模块化

经过验证的技术

高纯度水冷臭氧发生器，可生产浓度高达350 g/Nm3​的臭氧

先进的高浓度监测仪

使用质量流量控制器监测和控制臭氧和进料气 

完整的安全联锁和EMO系统​

支持**多四个独立的伺服控制回路​

19英寸机架固定，顶端配有排气系统，底端配有轮子

Teledyne API高浓度高纯度臭氧输送系统ODS系列应用:

ODS系列氧气输送系统具有多功能性，且安装使用简单，已经广泛应用在需求不同浓度、流量的薄片处理应用中，例如：半导体,化学气相沉积(CVD),原子层沉积(ALD),氧化物生长,表面处理,粒子清洁,光刻胶去除,灰化

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